Die Behandlung von Oberflächen im Plasma kann durch den physikalischen Effekt des Abstäubens von Oberflächenatomen (engl. sputtering) als Feinstreinigung oder auch als Mikrosandstrahlen betrachtet werden, das Plasma stellt gewissermaßen einen Feinstreiniger dar, der zudem eine Mikroaufrauhung der Oberfläche bewirkt(SH)
